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半導体、FPD製造に欠かすことのできない真空成膜装置。
プロセス環境維持、品質維持の為には製造装置のメンテナンスが必要不可欠です。
ミクロンメタルでは、真空成膜装置部品の再生・超精密洗浄に加えて、
歩留向上・メンテサイクル延長化などの、装置性能アップを目指した表面改質を行っています。
半導体分野・FPD分野でこれまで培った技術力を基に、有機エレクトロニクス分野での再生・クリーニングにも注力しております。
一貫したクリーニング工程と独自の溶射ノウハウを基に、更なるコストダウンを目指します。
また、アフターサービス体制も万全に整えております。各パーツにおいてトレーサビリティも可能です。
技術開発についても自信があります。お困りの際はご相談ください。
